平闆顯示

平闆顯示的(de)解決方案

平闆顯示器市場(chǎng)競争激烈，技術多(duō)樣。針對(duì)于此，制造商緻力于開發更高(gāo)分(fēn)辨率的(de)顯示器、新的(de)制造技術和(hé)更具成本效益的(de)生産工藝。涉及到環境空氣，工藝制程氣以及液體制程的(de)污染控制要求比以往更高(gāo)。高(gāo)等級制程需要将越來(lái)越小的(de)污染物(wù)控制在更微小的(de)濃度水(shuǐ)平。在關鍵工藝步驟中，大(dà)面積面闆上積累灰塵顆粒的(de)可(kě)能性非常高(gāo)，所以需要的(de)送風量和(hé)循環風量很大(dà)，來(lái)提高(gāo)空氣潔淨度，從而控制産品質量。