平闆顯示

平闆顯示 - 空氣過濾的(de)解決方案

在微電子的(de)平闆顯示器制造中，由于其市場(chǎng)競争激烈，技術創新的(de)多(duō)樣化(huà)，顯示器的(de)分(fēn)辨率逐步上升。

而更高(gāo)分(fēn)辨率的(de)顯示器意味著(zhe)更新的(de)制造技術以及更具成本的(de)生産工藝。涉及到環境空氣，工藝制程氣以及液體制程的(de)污染控制要求比以往更高(gāo)。

高(gāo)等級制程需要将越來(lái)越小的(de)污染物(wù)控制在更微小的(de)濃度水(shuǐ)平。在關鍵工藝步驟中，大(dà)面積面闆上積累灰塵顆粒的(de)可(kě)能性非常高(gāo)，所以需要的(de)送風量和(hé)循環風量很大(dà)，來(lái)提高(gāo)空氣潔淨度，從而控制産品質量。

在平闆顯示的(de)制造中，空氣過濾器的(de)選擇主要以高(gāo)效/超高(gāo)效作爲過濾器的(de)末端過濾，結合中效初效過濾器以保證空氣過濾的(de)整體循環。

在産品選擇上，主要以大(dà)風量高(gāo)容塵的(de)袋式，無隔闆過濾器爲主。